三坐標測量機的誤差類型可以分為兩類，即靜態誤差、動態誤差，其中靜態誤差的特點在于其誤差值會始終保持在穩定水平，而動態誤差則會隨著存在時間的增長而增加，所以在誤差補償角度上，應當先對兩種誤差進行了解，再選擇相應的方法。

 

　　（1）靜態誤差。三坐標測量機的靜態誤差產生原因一般在于：外部因素對設備結構造成了瞬時性影響，此類影響帶來的誤差因為影響轉瞬即逝，所以不容易發生變化，但這一表現不代表靜態誤差的影響力不大，因為在通常情況下靜態誤差的誤差值要大于動態誤差的初始值，乃至動態誤差經過一段時間發展后也無法超過靜態誤差值，所以應當對靜態誤差保持重視。例如，在三坐標測量機測量當中，其測頭測針存在磨損現象，此時就會形成靜態誤差）

 

　　（2）動態誤差。三坐標測量機動態誤差的產生原因有很多，例如溫度、灰塵、人工等外在因素，此類誤差在大部分情況下都會隨著時間的延長而增加誤差值，但在特殊情況下會表現出不穩定的動態化表現。例如：在三坐標測量機測量當中，周邊的溫度、灰塵會隨著時間累積而增長，相應引起的測量誤差值也會隨之增長，這即為動態誤差的常規表現；在人工因素下，介于人工不穩定性的特征，其來點測量速度會不平衡，但具體表現卻無法預測，由此就形成了不穩定的動態誤差表現。